北方華創(chuàng)集成電路裝備項(xiàng)目或6月竣工
2021-02-21 13:31
2 月21日，北方華創(chuàng)高端集成電路裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，目前正在裝飾裝修階段，該項(xiàng)目預(yù)計(jì)6月初全部竣工，并將交付業(yè)主使用。據(jù)悉，該高端集成電路裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目為地下2層、地上10層，將建設(shè)28納米以下集成電路裝備工藝驗(yàn)證及產(chǎn)業(yè)化條件，搭建5或7納米先進(jìn)工藝設(shè)備測試驗(yàn)證平臺，進(jìn)行先進(jìn)半導(dǎo)體工藝裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。項(xiàng)目建設(shè)完成后，將具備年產(chǎn)刻蝕機(jī)、PVD、退火爐、立式爐、清洗機(jī)等設(shè)備150臺以上的能力。
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